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LDW 350/500 直写光刻机
该装备基于先进的DMD数字光刻手艺， ，， ，，，，，接纳高精度的细密运动系统、光学系统、微情形控制系统， ，， ，，，，，同时具备实时聚焦、自动居中对位等功效。。。。。。
产品特点
01
最小线宽线距:
350nm
01
套刻精度：
±150nm
*以上数据泉源于CFMEE实验室测试效果， ，， ，，，，，详细情形可能因现实使用情形而有所差别。。。。。。本公司保存对相关数据和内容举行调解的权力， ，， ，，，，，恕不另行通知。。。。。。
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